作者t5d (t5d)
看板Master_D
标题[请益] MOCVD技术中 底下加热的热源驱动电路
时间Thu Oct 6 13:11:50 2011
最近老板丢给我一个计画
虽然计画的名称是MOCVD 但其实这个技术并不是要研究的主题
重点是在此技术中的某个装置 就是底下加热晶圆用的热源驱动电路
老板要我做的是去解析底下加热用驱动电路的相关资讯
像是此驱动电路该如何设计、控制各个点的温度误差…等
但对此装置我的知识严重缺乏 (大学并不是本科 只有学过电子学@@)
老板也只叫我去修电力电子的课程可以学到些东西
虽然是有买一本书来自修 但实在不清楚该装置的相关资讯
(像是其运作原理、详细名称…等)
反而不知道该从书中的哪个章节下手
(直流驱动、交流驱动、电压控制、电流控制…等)
老板自己也不了解这装置的细节 就只是叫我弄懂後再简报给他听
且昨天Meeting时他又丢了工作给我
叫我先找几篇相关的Paper下礼拜报给他听
但搜寻MOCVD所找到的都是该技术的相关内容
(气体、密度、薄膜生成的参数balabala…等跟底下电路毫无相关的Paper)
整个就遇到瓶颈..
不知道有没有懂这一块领域的人
可否提供一下关键字或相关知识、书籍…等
感激不尽 谢谢
--
※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
1F：→ nipsptt:老师真好当啊 竟然连关键字都没点出来给学生 10/07 22:33
2F：→ nipsptt:关键字IGBT 高周波 induction heating youtube有很多自制 10/07 22:41
3F：→ funchang:一般来说MOCVD的高温炉技术是极机密的,连机台的说明书都 10/09 00:44
4F：→ funchang:不会写的很清楚,何况你用搜寻的,不然你叫世上那两家MOCVD 10/09 00:46
5F：→ funchang:的大厂商吃什麽.... 10/09 00:46
呃..抱歉 我并不清楚这些事情..
但教授就是丢这东西到我头上 我也只能尽力满足他的需求
而且现在也只是要了解该技术的一些基本设计和理论而已
并不是要去知道人家厂商实际作出来的精密细节…等
※ 编辑: t5d 来自: 114.44.217.212 (07/08 22:15)