作者app13 (QQ)
看板Master_D
标题[请益]溅镀铝膜
时间Sat Oct 25 17:53:08 2008
最近需要溅镀(sputter)铝膜(厚度约50nm)
原先实验室有一块表面有变黑色的铝靶，有用砂纸把它磨到表面变成有金属光泽了
不过溅镀的结果发现没镀上去
所以後来买了一块新的铝靶
但不论新旧铝靶
每次溅镀的功率都大概开80~100瓦，镀了2~10分钟，真空度也都有到10的-5次方
镀了几次仍然都没镀上去(即使是後来镀到10分钟的也是)
(有用电表量过完全没电性，故认为没有铝膜溅镀上去)
对於新的铝靶，每次预镀也都有10分钟
但机台其他同学镀其他的靶材都ok
实在是百思不得其解
烦请有经验的各位不吝提供一些建议
谢谢大家!
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 59.104.191.225
1F：推 eoi:RF or DC? 10/25 18:21
2F：推 nikenike:2~10min 时间是不够的!!! 10/25 20:22
3F：推 konly:给楼上 就算时间不够 每秒给你1A/s速率 镀超过200A以上就看 10/25 21:04
4F：→ konly:的出来 因为Al的skin depth才100多A 透明玻璃都能看的出差异 10/25 21:05
5F：→ konly:建议还是无法确定有无镀上 玻璃片放进去 就知道有没有镀上去 10/25 21:06
6F：→ konly:电表会量不到 有时候是膜太薄导为非连续性膜 电阻大之类的 10/25 21:07
7F：→ kto135:打AES?? 10/25 21:36
8F：推 survival1010:10min 镀不到什麽吧 速率太快 品质会很差 10/25 22:40