作者web1379 (神)
看板Master_D
标题[请益] ITO玻璃蚀刻
时间Fri Oct 12 10:36:41 2007
想请问大家有哪家厂商有再帮忙蚀刻ITO pattern
或者有哪家厂商有卖蚀刻液(稳定)?
因为自己配的蚀刻液很不稳定,常常过蚀刻,实在很痛苦...
谢谢大家帮忙^^
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 140.113.190.204
1F：推 Jinuse:这变因太多了吧 请问你用的蚀刻方式是什麽 温度 种类 浓度 10/12 10:41
2F：→ Jinuse:这可以微调的 10/12 10:42
3F：→ Jinuse:线宽也跟过蚀刻的忍受程度有关系吧 10/12 10:42
4F：推 web1379:补充 我是用氯化铁加盐酸5% 温度75度 线宽40um 10/12 10:49
5F：→ Jinuse:可以试试稀释过的王水 温度只要四十几 蚀刻完会很准 10/12 10:52
6F：推 konly:原po说的 要是猜的没错 蚀刻会很快 因为我们现在也用这 10/12 21:44
7F：→ konly:建议改成稀盐酸+硝酸 以及检查你的光阻是否档的住 10/12 21:45
8F：→ konly:有时候光阻也是一个小问题 不过还是你的蚀刻液该换一下 10/12 21:46
9F：→ konly:蚀刻过快 有时候你药水稳定性不稳 秒数差一点 就会吃过头 10/12 21:47
10F：→ konly:所以还是换稀盐酸+硝酸那种 虽然蚀刻速率慢 但至少吃的准 10/12 21:48
11F：→ konly:比较不会发生严重吃过头的现象 10/12 21:49
12F：→ konly:另外可以不用加温 因为加温会加速反应.常温虽久但几乎不过头 10/12 21:50
13F：→ fives:玻璃经过热处理也能抑制侧蚀喔 10/12 22:43
14F：推 konly:如果在意ITO膜的特性 不介意热处理 尤其是超过300度以上 10/12 23:20
15F：→ konly:高温热处理ITO片电阻会升高,虽然ITO成长要超过200度才是单晶 10/12 23:20
16F：→ konly:不是介意，是不建议 10/12 23:22