作者kobe23 (阿德)
看板Master_D
标题[情报] 请问E-BEAM相关问题
时间Fri Jan 12 00:39:18 2007
我目前是想用E-BEAM写在铝上面
我要的pattern宽度大概是100nm
因为写的东西很小
所以我有在要写的东西的附近做一些可以让我好对到的pattern
那个要要用来对准的pattern大约1um（这样我用OM就看的到）
但是我却连这个1um的pattern都写不出来
我很沮丧，我写了很多次，参数也试过很多组了
但是也都写不出来
请问有人有写在铝上过吗
要注意那些条件影响呢
请大家帮帮忙了
已经硕二了
很怕会延毕
谢谢
--
※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 140.120.25.188