作者damnboy (该认命了....)
看板Master_D
标题[请益] 请问有关於微机电悬空结构的蚀刻？
时间Thu Dec 28 12:39:20 2006
最近etching常常遇到困难...
先用TMAH蚀刻矽 再用BOE蚀刻oxide
金属会漂起来...(金属是Au 跟Cr)
有时候是在TMAH这步 有时候是在BOE这步...漂起来
但是etching的条件跟先前都没有改变(之前成功过)
不支版上大大有没有人也在etching的
有没有遇到同样的问题
如何增加金属adhesion的方法?
感恩^^
※ 编辑: damnboy 来自: 140.114.20.6 (12/28 12:40)