作者keku (云破月来花弄影)
看板Master_D
标题Re: [问题] 请问半导体厂用的VOCs
时间Mon Apr 11 20:13:50 2005
※ 引述《comit (连续四次)》之铭言:
: 你猜对了 可是我对这些制程不太了解
: 我是想知道 有用到哪一些 有机挥发物
: 譬如说半导体厂,或是电路板 应该都会用到吧
: 请问会用到啥勒 @@"
一般半导体制程,会用到若干有机溶剂的地方有下:
1.清洗substrate。主要有甲醇、乙醇、丙酮、异丙醇四种,可能交
替使用,例如常见丙酮、异丙醇各rinse三次等等,因为极性不同
清洗作用也不同。
2.显影剂。依据不同光阻各有专一用的显影剂,分别由复杂的有机
溶剂组成。
3.光阻冲洗剂。不同的光阻也会需要不同的清洗剂,但大部分常用
的光阻皆可以丙酮洗乾净,因此丙酮为最普遍的光阻冲洗剂。
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◆ From: 140.109.225.161
1F:推 comit:感谢 163.25.118.30 04/11