MicroLED转进至晶圆厂，创造更多商品化契机 https://bit.ly/3xfjwfL 随着三星最近发布的110寸MicroLED电视，这表示MicroLED将成为下一代显示器技术的时 机来临了。即使这一款电视的价格为155,000美元，但Yole Développement表示，这标志 着MicroLED电视即将到来，因为可以预期的是，大量制程进步和颠覆性技术，就能将成本 降低20至30倍，而进入主流市场。其预估，采用首批商业化的MicroLED显示器，将用於 AR/VR或混合实境。 基本上，MicroLED产品分为三类：首先是用於电视、标示牌和电影院的大型显示器；其次 是用於平板电脑、汽车前灯、智慧型手机和手表的中型显示器，以及用於AR/VR/MR应用的 微型显示器。 整体看起来，未来随着产业从今天的MiniLED转移到MicroLED之後，晶圆代工厂和晶圆厂 必须大大加紧他们的脚步。KLA表示，实现MicroLED的性能和降低成本，半导体制造思维 将必须转变。因为与传统LED相比，其必须极高的MicroLED良率，包括：较高的驱动IC和 背板组装良率，这需要端到端的晶圆厂缺陷管理策略。 除了线上良率管理改进之外，MicroLED目前还没有适合生产的制程来快速将MicroLED从晶 圆转移到中介层或晶圆再到背板。这个制程是现今microLED制造量产的一个很大限制。 在晶圆加工方面，除了减少直接影响良率的缺陷率之外，microLED晶圆厂还必须在外延晶 圆和成品面板上，保持非常严格的波长均匀性控制。 Lam Research则是认为，MicroLED最大的挑战之一是缺乏标准的制造流程和范围广泛的方 法，这会导致无法开发出大量制造的设备。目前预计，初期能够生产出小型且高亮度 microLED显示器，并应用在AR/VR、其他消费性产品（如智慧手表）、以及用於汽车显示 器和大面积投影的MicroLED光引擎中。 要让MicroLED应用在电视领域，由於大量转移的困难和性能问题，使得公司必须寻求不同 的途径在同一面板上获得RGB三原色。例如：红色需要1.7V阈值电压、绿色需要2.2 V电压 和蓝色需要3.3 V电压，由於三原色之间的驱动电压存在差异，使得驱动电路的设计变得 复杂。 总之，MicroLED作为下一代平板显示技术是非常有前途的。未来LED晶圆厂必须变得类似 於据大量生产的矽晶圆厂一样，做到端到端的良率管理和更先进的制程控制。在晶圆级的 水准上，除了EL（Electroluminance）测试之外，还需要PL（Photoluminance）测试，以 制造出近乎完美的显示器，也才能真正成为更具主导性的显示器技术。 ------------------------------- Micro LED产品逐渐普及化，仍需降低成本，改善良率，Lam Research认为最大的挑战在 於制造流程标准。 --

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