作者robin0925 (保守哥)
看板Electronics
标题[问题] CMOS里的High low junction
时间Tue Oct 4 22:37:07 2016
大家好，小弟菜逼八，刚接触AIC，很多都还不会，如果问题太白痴还请见谅QQ
想请问版上大大，在CMOS制程中，有一步是利用Conformal CVD deposition沈积SiO2
再将多余的etch掉，产生Sidewall spacer
然後会形成一个high low junction
想请问这个high low junction是如何形成的？
然後形成这个有什麽好处RRR？
感谢QQQQQQQ
--
※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc), 来自: 140.113.136.220
※ 文章网址: https://webptt.com/cn.aspx?n=bbs/Electronics/M.1475591829.A.79A.html