作者jfsu (水精灵)
标题Re: [问题] 半导体制程中的feature size
时间Sat Aug 23 17:51:50 2014
※ 引述《gauss760220 (宅哥)》之铭言:
: 请问一下
: feature size是什麽意思?
: 我在半导体制程的书里看到
: "在半导体工业里,图形尺寸(Feature Size)通常是以微米来计算的"
: 但不是很懂这是什麽意思...
: 请高手解惑
: 谢谢
Feature size中文的意思是〔特徵尺寸〕,多半用在记忆体上来描述元件的尺寸,
缩写是 F。
ps.举个例子,我们常说的90/65/45/32奈米制程,这些指的是
制程世代/节点(technology generation/node。)
对逻辑产品而言,指的是电路布局上的闸极宽度(gate length)
对DRAM产品而言,指的是二分之一的pitch (spacing + width)
对Flash产品而言,指的是相邻两个浮动闸极(floating gate)的距离
而〔F〕,指的是(或小於)该制程世代的尺寸。
好比某个记忆体细胞(Memory Cell)的X、Y尺寸是0.64μm X 0.56μm,它相当於44F^2。
计算方式如下,对90nm制程而言(F = 90nm = 0.09μm)
44F^2 = 44 x 0.09 x 0.09 = 0.64 * 0.56 μm^2
如果是65nm制程(若元件的尺寸不变,即X仍是0.64、Y仍是0.56),那就是84F^2。
(一般而言,不会是0.64um与0.56um,而且也不会是84F^2)
(应该说要反推回去求XY的最小尺寸才对,毕竟65nm比90nm,尺寸要更小)
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