作者Zoma (喔喔喔~~~)
看板Electronics
标题[请益] on wafer量测之calibration
时间Mon May 2 17:54:56 2011
我目前研究主题是要自己制作电晶体,并量测其RF特性,ft fmax之类,
但我对於calibration不熟,怕画光罩时出错,因此想请问一下各位,
我是on wafer的量测,使用GSG pitch 100um之针,
量测的配置为以bias tee连接DC supply与VNA,再把讯号送到probe,
有关於calibration,我查挺多人是以Cascade之ISS(impedance standard substrate)
先calibrate到针尖,然後量测S参数,之後再以open short法作de-embeded,
但因为我们自制元件,不同大小的DUT会搭配不一样的RF pad,
如果这些pad我都有作相对应的SLOT test structure,
若一开始我直接以这些test structure作SLOT calibration,
是否这些pad的parasitics就会被calibrate掉,而不须做两阶段的calibration?
初入此门,苦无人可问,麻烦各位赐教了~
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 140.112.49.136
※ 编辑: Zoma 来自: 140.112.49.136 (05/02 17:55)
1F：推 ultimachen:自己作的没有load 05/02 20:16
2F：→ Zoma:有耶~老师要我用Ni-Cr去作Load~~ 05/02 20:30
3F：推 ShineOnYou:请问一下有没有甚麽理由一定要一次cal掉呢? 05/02 20:44
4F：→ Zoma:ㄜ...理由很尴尬...因为我老师不希望我买ISS... 05/02 22:19
5F：→ Zoma:因为他说以前Milton Feng那里都没人用ISS...大家都自己作... 05/02 22:20
6F：→ Zoma:但我查到好像挺少人这麽做的...所以才想上来请教一下~ 05/02 22:21
7F：推 ShineOnYou:你应该是Dr.黄的学生吧?我觉得可以 不过我也没这样做过 05/02 22:26
8F：→ ShineOnYou:而且我不知道跟calibration的方法有没有关 不过你可以 05/02 22:27
9F：→ ShineOnYou:google一下Suss或LRM+ 05/02 22:27
10F：→ Zoma:是的我是JJ的学生~非常感谢你~我会查查看的~thx!! 05/02 22:41