大家好...我在量测时遇到了一个问题想请教大家... 主要是我量测的DUT阻抗很高...然後示波器就算调输入阻抗1M... 还是会有很多电流流进示波器...不知道是否有方法可以更进一步提高输入阻抗 除了选用衰减探棒之外...或者是有什麽方法可以解决这个问题... ---------------------------------------------------------------- 我做的电路比较简单...比较特别的是我们是自己作元件... 所以量测都是on-wafer的...所以所有的端点都是用下针的方式连接 我是利用两个TFT连成enhancement load的inverter 然後以function generator在Vin给一个方波...以量测Vout的transient 特性 Vdd和GND都是用Agilent 4155C给予一个稳定的直流偏压... Vout的部分是直接将那根针的triaxial端转为BNC接到示波器... 理论上量测出来会是与Vin反向...从inverter sweep特性推断振幅约4V... 但实际量出来是有反向...但震幅只有1V左右...应该不是因为rising time不够 因为输出的方波有饱和到水平线...但振福就是很小...从4155c监控发现 有几百nA的电流流入示波器...因此我在想这会不会是电阻性附载的效应... 但因为我们直接用探棒去勾针...一来很伤元件...二来是杂讯太大... 所以朝向增加输入阻抗的方式前进...但试了一阵子还是试不出来... 所以上前请教板大不知道是否有什麽方法...可以避免电流流入示波器 对了我们用的示波器为Lecroy 6050A...非常感谢各位的帮忙~ --

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