作者ohya74921 (加百利)
看板Electronics
标题Re: [问题] 关於TSMC 0.18 layout
时间Fri Mar 18 18:26:15 2011
先谢谢热心想替我解答的朋友
我後来在技术文件中查到各层的定义
diff (dra) = Dummy layer for LVS to recognize RF MOS drain region
所以他在实际上是不存在的
另外我想再请教各位高手一些蠢问题
在cadence这样画
┌┐ ┌┐
┌──┤├─┤├──┐
│ ││d ││ │
│ ││i ││ │
│diff││f ││diff│
│ ││f ││ │
└──┤├─┤├──┘
└┘ └┘
poly poly
制程出来的 cross section view 如下
poly poly
┌─┐ ┌─┐
──┬──┼─┼──┼─┼──┬─
│ n+ │ │ n+ │ │ n+ │
└──┘ └──┘ └──┘
p-substrate
不过通常我们在拉 diff 的区域时通常是拉一整片 再把poly gate盖上去
但是想想不对,既然poly gate下方有diff区域
为何出来的 cross section view , poly gate下方并没有
是因为制程的流程关系吗?这类的资讯技术文件查的到吗...?
因为我目前可能也需要用到 nLDD (lightly doped)
示意图如下
poly
┌─┐
──┬──┼─┼──┬──┐
│ n+ │ │nLDD│ n+ │
└──┘ └──┴──┘
那我在 CADENCE 中画 LAYOUT的时候应该是
1. 直接在 DIFF AREA 上盖一层 nLDD即可 (同POLY GATE)
2. 要将 DIFF AREA 移开,再画上 nLDD
PS : 技术文件中有个档案为
TSMC 0.18UM MIXED-SIGNAL 1P6M+ SALICIDE 1.8V_3.3V BRIEF PROCESS FLOW
我进去看了一下内容
内容有一个表格是 process sequence
应该就是制程的先後顺序吧?
内容就有一些 DNW, OD2 ... 等按照序号排
理论上只要知道 NLDD跟DIFF AREA的先後就可以知道如何画
不过内容没看到 DIFF 的栏...
请高手指点一下
谢谢 :)
--
我妈妈说生的人不是帅哥就是美女耶!
--
※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 140.115.72.67
1F:推 windboy0620:下次你先画Poly 再拉diff 你就知道为什麽了... 03/18 18:47
2F:→ TripleC:请修半导体制程就知了...gate first or gate last 03/19 11:23
3F:→ ohya74921:我试了 没差阿 XD 03/21 13:02