最近需要再silicon wafer上coating sio2/tio2 的mutilayer 希望反射率可以达到99%以上 但是对於复杂的转换公式一直看不懂...(我是化学系毕业的) 想请问一下板上强者 我知道他们的折射率 但我要如何去计算个别的厚度 和我需要几对sio2/tio2呢? 在知识网上有看到 解释如下..... 利用两不同介电常数的材料来达成全反射的功能。 材料一：折射率为n1，厚度为:t1 材料二：折射率为n2，厚度为:t2 利用干涉原理，使经过材料界面的光，反射至最初入射面的相位与入射光的相位相等，此时在最初入射面的所有波的叠加为完全建设性干涉，因此入射光全部被反射。 为了满足建设性干涉条件：n1*t1+n2*t2=500nm/2 只要n1,t1,n2,t2可以满足上式，就可以利用多层膜的方式来达成全反射，但n1不能等於n2，如果n1=n2则没有反射回馈的机制，就不会有完全建设性干涉的情形发生，也就不会有全反射发生。 举例： n1=1.5, t1=83.33333nm n2=2.0, t2=62.5nm 大约5对n1/n2的结构就可以达到95%以上的反射 问题一: 我怎麽知道厚度要如何选择呢? 问题二:"大约5对n1/n2的结构就可以达到95%以上的反射" 他是怎麽算的呢??? 不好意思 问题可能很白痴 请大家教教我 谢谢了!! --

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