※ 引述《gyamwoo (愿神赐福给台湾)》之铭言： : 各位好。 : 我在课本上看过这样的esd电路 : http://img686.imageshack.us/img686/3938/diodeesd.png : LAYOUT大致是这样画的 : http://img190.imageshack.us/img190/17/diodeesdlayout.png : 其中那两个diode是用p型和n型guard ring做的。 : 我现在有个问题，这个PN JUNCTION要多大的面积才有ESD的效果 : 还有PN JUNCTION 在 tsmc0.18UM CMOS的制程下。其接面特性如 : 何？例如接导通电位，欧姆接面阻抗，逆偏崩溃电位电流等等， : 完全没有概念。 : 还是说使用LVS认得到的DIODE去做这个ESD呢？ 先说明一下： 一般的ESD电路有两级，你图片上显示的是第一级(primary)，它是是用於 HBM(Human Body Mode)与MM(Machine Mode)。第二级(Secondary)则是用於 CDM (Charge Device Mode)。 图中所使用的限流电阻R=3K，基本上，虽然它有ESD作用，但这阻值太大了，讯号经过 会有衰减(IR drop)。由於ESD电路本身不该影响晶片内部电路的正常运作，以这种架构 而言，该电阻值通常约几十~几百欧姆即可，材值是poly或diffusion（有些甚至不使用 电阻，直接用长的M1线来代替。因为有些PAD与ESD电路是放在不同的位置，其中可能距离 几百um以上，寄生的电阻即可拿来替代使用) 另外，关於你提到的要多大面积才有ESD效果。 我想，你必须要求TSMC提供0.18um 的ERC与ESD的DRC，里头一定会写明P+/N-well或是 N+/P-well在某条件下（Ex面积 a= 40um^2）测得它的ESD trigger level(Itrig, Vtrig 或Itr2, Vt2)或是接面崩溃电压(junction breakdown) 如果你无法问的到，那只能从TSMC给你跑模拟的Model卡去找。 最後，LVS应该认不出这是什麽样的diode，而用DRC可能会出现假错。 你必须用ESD的DRC去check这些ESD diode是否符合rule。 -- 对流血一周仍然不死的生物千万不能大意……。 --

※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc) ◆ From: 203.66.222.12