作者problemptt (cool)
看板Electronics
标题[问题] 请问一下关於半导体制程中专业名词的意思
时间Tue May 12 19:40:19 2009
※ [本文转录自 comm_and_RF 看板]
作者: problemptt (cool) 看板: comm_and_RF
标题: [问题] 请问一下关於半导体制程中专业名词的意思
时间: Tue May 12 19:39:28 2009
1.Self-Aligned 自我对准
所指的意思是什麽可以清楚的解释吗?
2.cmos fully compatible process 指的是什麽意思?
谢谢
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 123.240.151.218
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1F:推 pow:self-align就是先射镖 然後画靶 05/12 19:47
2F:→ pow:2意思就是 不需要特别制程 用一般CMOS制程即可产生 05/12 19:47
3F:推 sean456:Self-Aligned以MOS制程来说 就是先把G的POLY做好在扩散DS 05/12 20:12
4F:→ sean456:这样就自然会有通道产生不需要额外的光罩去做通道也比较不 05/12 20:13
5F:→ sean456:会偏差 05/12 20:13
6F:→ sean456:用G的POLY当作通道的遮罩 05/12 20:14
7F:推 weichingman:建议你去翻半导体制程的书...都有图解!!! 05/12 21:08