作者arcsin (arcsin)
看板Electronics
标题[问题] 0.18制程中metal各层深度
时间Tue Jun 10 12:24:27 2008
小弟最近在作晶片量测
由於一些问题造成需要把里面metal打断
不过在蒐寻过很多资料後 只有找到一些layout的垂直图
并没有详细的垂直深度
而小弟利用离子束吃的时候无法知道是否有成功切断
所以想请问一下不知是否有人知道.18的垂直的详细深度
假如是想切metal_1的话 大概需要多深? 谢谢！
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