作者MrCafe (哈啦Cafe)
看板Electronics
标题[问题] 用光阻当绝缘层
时间Thu May 22 21:52:07 2008
一般半导体制程中，大多是用SiO2、Si3N4...做绝缘层，
但如果直接用光阻(如S1813、PMMA...)来做绝缘层，会有
什麽优缺点呢？
因为有教授说SiO2、Si3N4漏电流很严重，建意我用光阻就
好，真的有这样的事吗@@"
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◆ From: 61.216.92.220
1F：推 pow:挖靠 光阻厚度只有10A吗 而且可以搞得这麽平整吗 05/22 23:28
2F：→ pow:你做出来保证上eetimes头条 解决SiO2漏电问题! 05/22 23:28
3F：→ MrCafe:假设同样是10nm厚的光阻跟SiO2，我可以从哪些参数或关键字 05/22 23:45
4F：→ MrCafe:查漏电的数值呢？ 05/22 23:46