作者d813235 (黑仔)
看板Electronics
标题Re: [问题] SEM原理问题
时间Tue May 20 22:29:44 2008
二次电子:散射的电子成因包括弹性碰撞与非弹性碰撞,当入射电子与材料表面原子
作用时,会将表面的原子外围轨道上面的电子打出来,被打出来的电子称
为二次电子,这种碰撞称为非弹性碰撞,非弹性碰撞只能有电荷的转移并
不会传递能量,我们可经由二次电子的讯号来观察样品表面型态。
入射电子的能量大,造成的二次电子能量不一定大,因为入射能量大的话
,会渗透到材料的内部,当二次电子要从内部跑到外部一定会损失更多的
能量,因为会有碰撞效应,所以二次电子的能量会因碰撞而变小。
欧杰电子:当原子内层电子受到外来能量源的激发时(如电子束)而脱离原子时,此
时二次电子跳出去後,原子的外层电子将很快的迁隆至内层电子的空穴并
释放能量,所被释出的能量可能会以X型态释出,或者此释出的能量转而
激发另一外层的电子,使其脱离原子,我们称此被打出的电子为欧杰电子。
欧杰电子的产生必须要3个以上并且包含2个电子轨域的电子始能产生,
所以氢(H)及氦(He)二种元素是不会产生欧杰电子的。
可以将二次电子看为被直接撞击出去的电子,而欧杰电子则是因为吸收了二次电子所
造成的能量所产生的!!
我们可利用侦测欧杰电子的能量来判断材料表面的元素成分与含量。
而SEM就是利用二次电子来成像,使放大倍率比光学显微镜大很多。
※ 引述《garyk (开学勒..)》之铭言:
: 想问一下
: 欧杰电子 二次电子
: 之间有什麽差别
: 各是什麽东西
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