作者jfsu (水精灵)
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标题Re: [问题] 晶圆和IC的关系and加热器
时间Tue Dec 11 10:32:58 2007
: 先IC设计
: 晶圆由矽晶棒研磨、抛光、切片後 即成晶圆片
: 在晶圆上面再做沈淀、蚀刻、加温、光阻处理、涂布、显影等手续
: 然後在把IC弄在晶圆上
: 然後再测试 切割 封装
: 这上面哪里有错了??
: 另外.IC设计是否就包括电晶体 二极体 电阻 电容..等镶上去了??
: 另外,有个叫"加热器(heater)"的工具 在晶圆制成过程扮演啥麽角色?
: 以上
: 谢谢
你其实少提到一段拉晶的过程,而Heater的作用就是在那边。
我们使用RF线圈(RF Core)来加热融溶矽,而个RF Core的装置就称为Heater。
另外,你说的"沈淀、蚀刻、加温、光阻处理、涂布、显影等",这些过程就是把IC
做在晶圆上(应该不能说IC,要说元件(device),如电晶体,电容,电阻....)
一直重覆这些步骤,直到作出所有的元件为止。
IC设计,首先由电路设计工程师(Circuit Designer)将电路设计出来,好比你画一个
电阻串接一个电容这样一个电路好了。你再将这电路交给电路布局工程师(Layout engine\
er)
他会帮你用不同的layer(层次)去定义出这是电阻or 那是电容,好比,他将两层金属
重叠,这一个重叠就形成电容。(记住喔,你必须把layout当成实体的电路来看。
最後完成的IC就会跟你目前看到的layout是一样的)
等作完design rule check(DRC)与Layout versus schematic(LVS),後,我们将资料
(database)交给光罩设计公司,他们会依你的layout上定义的层次去制作光罩,
(好比你的电阻电容电路会需要3层光罩),然後再将这3层光罩交给代工的晶圆厂
(TSMC与UMC),再依上述你讲的流程,完成电路制作。
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