作者kenny750730 (伤心人)
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标题Re: [问题] 关於闸极(通道)长度问题...
时间Tue Nov 6 00:25:10 2007
※ 引述《pow (体脂肪35%)》之铭言:
: ※ 引述《kenny750730 (伤心人)》之铭言:
: : 想请问各位在做元件的板友们 所谓90nm 65nm 45nm 制程技术
: : 指的究竟是闸极长度(即通道长度)
: : 还是说指的是drin 到source
: : 的总长度 然後闸极长度(通道长度)是 90/2=40nm多 65/2=30nm多
: : 45/2 =22nm多
: : 这网站说 http://www.oc.com.tw/readvarticle.asp?id=4166 65nm制程
: : 闸极长度是65一半 大约30nm左右
: : http://tech.digitimes.com.tw/ShowNews.aspx?zCatId=142&zNotesDocId=7CFECDF24CE92F04482571E200674481
: : 这网站说 65nm制程就是闸极65nm长
: : 我搞混了.....
: : 最近听到两个说法 有点搞迷糊 不好意思
: : 还请各位板有指点一二 谢谢
: 第一个网站的来源应该是
: ftp://download.intel.com/technology/silicon/65nm%20IEDM%2004%20paper.pdf
: 请注意
: Foundry说的制程名称不等於实际gate length
: 那只是代表一个technology node
: 例如有的号称.18um 可是Lmin=200nm
: 还有.13um 可是Lmin=120nm
: 这种东西不一定的
: 这跟marketing的诉求比较有关系
: 至於Lmin是制程名称除以二
: 应该是你自己看到intel那篇文章之後推论的吧?
: 一般来说
: 制程名称跟Lmin应该是要蛮接近的
: 可是为什麽intel的会差这麽多
: 我想是因为他们没有把gate oxide跟着变薄
: (oxide的厚度才是最critical的因素)
: Cox并没有到达真正的35um制程应有的地步
: 所以说 他们很公道的claim制程特色:p
: 我的连结里面那边文章说得很清楚
: 他们用厚的gate oxide(1.2nm)来减少leakage current
: 搭配strain silicon来增加速度
: 达成数位电路(logic)low power/high speed的目的
: 另外
: 04年8月的文章...
无论如何 很感谢你的回应 但是我得跟你说一下 GATE oxide 1.2nm已经是非常非常小了
也已经几乎是极限了 在更薄 量子穿遂效应会很严重导致杂极漏电流大增
其它你解释的都很合理 可是 INTEL也宣布45nm技术节 闸极(通道)长度
也约略是45/2nm = 20nm左右 32nm技术节点在实验室也被作出 闸极也大约
32/2=16nm左右 所以我才搞混 觉得刚好都是除二
有人说1/2 pinch是只金属连线...我也搞不清楚
现在乱掉
但是不论如何都很感谢你费心解释 真的!!
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 211.74.80.54
1F:推 cpt:闸极厚度这问题据说已经解决了, 将来都会用high k了 11/06 00:41
2F:推 kenny750730:INTEL这次45nm用HIGH k当闸集的氧化层 好像是吧!? 11/06 08:23
3F:推 pow:04年的时候我听说到蛮多用strain silicon的 11/06 15:45
4F:→ pow:可是现在都听到high k 11/06 15:45