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标题Re: [问题] 关於闸极(通道)长度问题...
时间Mon Nov 5 22:55:45 2007
※ 引述《kenny750730 (伤心人)》之铭言:
: 想请问各位在做元件的板友们 所谓90nm 65nm 45nm 制程技术
: 指的究竟是闸极长度(即通道长度)
: 还是说指的是drin 到source
: 的总长度 然後闸极长度(通道长度)是 90/2=40nm多 65/2=30nm多
: 45/2 =22nm多
: 这网站说 http://www.oc.com.tw/readvarticle.asp?id=4166 65nm制程
: 闸极长度是65一半 大约30nm左右
: http://tech.digitimes.com.tw/ShowNews.aspx?zCatId=142&zNotesDocId=7CFECDF24CE92F04482571E200674481
: 这网站说 65nm制程就是闸极65nm长
: 我搞混了.....
: 最近听到两个说法 有点搞迷糊 不好意思
: 还请各位板有指点一二 谢谢
第一个网站的来源应该是
ftp://download.intel.com/technology/silicon/65nm%20IEDM%2004%20paper.pdf
请注意
Foundry说的制程名称不等於实际gate length
那只是代表一个technology node
例如有的号称.18um 可是Lmin=200nm
还有.13um 可是Lmin=120nm
这种东西不一定的
这跟marketing的诉求比较有关系
至於Lmin是制程名称除以二
应该是你自己看到intel那篇文章之後推论的吧?
一般来说
制程名称跟Lmin应该是要蛮接近的
可是为什麽intel的会差这麽多
我想是因为他们没有把gate oxide跟着变薄
(oxide的厚度才是最critical的因素)
Cox并没有到达真正的35um制程应有的地步
所以说 他们很公道的claim制程特色:p
我的连结里面那边文章说得很清楚
他们用厚的gate oxide(1.2nm)来减少leakage current
搭配strain silicon来增加速度
达成数位电路(logic)low power/high speed的目的
另外
04年8月的文章...
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 152.14.55.218
1F:推 jacobliu:嗯 我喜欢这解释~~ 11/05 23:05
2F:推 ppc:推 11/07 22:45