作者cc1982 (c c c c c c c )
看板Electronics
标题[请益] 请问有乾蚀刻机台(三五族材料)的学校
时间Sat Mar 17 17:10:04 2007
因为本校乾蚀刻机持续的有问题 似乎短时间都还不能修复
眼看 毕业时间在即
想问问还有哪各学校的无尘室可以做乾蚀刻
我要蚀刻的材料是GaN
希望机台能有 EPD 侦测etching rate
或是哪间公司能付费做蚀刻 也可以
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 140.115.72.28
1F：推 sadbluecc:中华电信研究所问看看@@" 03/17 23:48
2F：推 Rigid:交通大学的NDL应该有 可以问问李建平教授实验室的人 03/18 16:20
3F：→ cc1982:感谢 03/20 13:15