作者neaman (neaman)
看板Electronics
标题Re: [问题] 想请问一个半导体制程的名词
时间Sun Jan 15 16:43:37 2006
※ 引述《backlu (....)》之铭言:
: 最近在一篇论文上面看到 P+S/D Photo(blanket)
: 我想请问blanket再这边指的事什麽意思
: 我目前知道blanket是指P+S/D Photo 的某一项物理性质
: 类似 N+S/D Implant(Dosage)指的是implant的植入量
: 麻烦在半导体这方面的高手 可以告诉我blanket的意思
: 或者提供我这方面资料的网站或书 谢谢 感激不尽~
blanket 相对於 selective ,
blanket implant or deposition, 整片 wafer 都打 or 都沉积,
相对於 selective implant or deposition , 选择性的打 or 沉积.
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 220.136.237.206
1F:推 backlu:谢谢 感谢你的大恩大德 Orz 01/17 01:08