电浆(Plasmas): 在以前提到物质的三态，为固态、液态、气态，其实物体的状态有第四态的存在---电浆 。电浆是一种部分离子化气体，其成份包括大量中性气体原子和少量的阳离子及电子。在 自然界中，如地球外围的电离层、太阳表面、或是星际气体中，皆存在着电浆(太阳产生 的电浆，向宇宙发散出去，形成太阳风；这些带电粒子被地球的磁场捕捉後，在南北极和大 气层中的气体分子相撞，形成极光)。此外，若在真空室中通入气体至数十至数百毫托耳 的压力，并於外部加入交直流电场，使气体被游离而形成一带正负电粒子的集合体，亦可 生成电浆，在实际的应用上大部分是利用高电场，提供足够的能量让原子或分子内部的电 子脱离原子或分子的束缚；其实电浆在日常生活中早已存在，例如日光灯内的气体在使用 时就是一种电浆。 真空室内的气体形成电浆态时，系统所存在的自由度很多，并有无数次碰撞在发生，包含 了中性原子与中性原子之间、中性原子与离子间、中性原子与电子间、离子与离子以及离 子与电子间的碰撞，使得电浆系统中不断重覆着游离、激发、弛豫，及结合等动作。而当 原子在激发及弛豫动作时，将以发光的方式释放出能量，成为可用肉眼看到的电浆颜色。 在工业应用上，可利用其粒子的高热动能，以引发热和融合反应而产生能源；或利用外加 电磁场控制粒子云动状态，来制造雷射或其他电磁波源，即各型原子、分子、离子、电子 束。更可直接利用其间粒子的高能量与活泼化学性质从事化学合成、材料制造、表面处理 等工业应用，为近世纪半导体材料制造中不可或缺的重要体系。电浆溅射镀膜、电浆化学 气相沈积、电浆氧化、电浆及活化离子蚀刻、离子溅射等为几个着名例子。另一方面，亦 可利用电浆系统中激态原子、分子、离子放射出的大量光子来制造各种光源，如离子雷射 、弧光灯，或缩小至微米尺度制造电浆平面显示器等。 -- ╭─╮ ╭───╮╭───╮┌─┐─╮┌───┐╭───╮╭───╮┌─┐ │█│ │███││███││█◢█││██◤┘│███││█◤█││█│ │█└─╮│█ █││█ █││██◣┘│███││█◢◤╯╰◥█◣╮│█│ │███││███││███││█◤█││██◣┐│█◥█││█◢█│╭◢╯ ╰───╯╰───╯╰───╯└─┘─┘└───┘└─┘─┘╰───╯╰─╯ --

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