作者sean25059199 (depot123 ffsf)
看板Chemistry
标题[实验] 如何在Cr上长较厚的Cr oxide
时间Wed Jun 10 18:44:27 2015
我的silicon wafer上面有Cr的seed layer, Cr在air会自然生成chromium oxide, 但是
是非常薄的一层, 有人知道要如何使这层chromium oxide变厚吗？
谢谢
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1F：推 gamesame7711: 室温下的成长吗? 06/10 20:07
2F：→ gamesame7711: 还是要用气象沉积? 另外你是要往下沉积还是往上沉积 06/10 20:07
3F：→ gamesame7711: 最简单的方法 就用物理气象沉积镀Cr 然後通氧加温 06/10 20:10