作者billysura (小鬼)
看板Chemistry
标题[问题] RCA clean 中SC1各成分的分布状况
时间Tue Jan 7 21:22:05 2014
最近在工作上遇到一个问题
就是半导体制程中SC1 clean (NH4OH+H2O2+H2O)
温度约为40~50度
我的疑问是里面的成分是否为:
双氧水化学反应式
H2O2->H2O+O2
氨水化学反应式
(1)NH4OH->NH4+ + OH-
(2)NH4OH->NH3+H2O
到底氨水应该是会解离还是会形成NH3呢?
希望先进可以替小弟解惑一下?
感激不尽
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