作者Focus788 (请屎皇)
看板ChemEng
标题[问题] 氮化矽 与 二氧化矽 化学反应
时间Thu Jul 8 14:54:09 2021
小弟遇到一个很奇怪的现象
底层为玻璃
第一层薄膜为二氧化矽
第二层薄膜为氮化矽
第三层薄膜为二氧化矽
拉去做高压高温蒸气实验时>三天
从显微镜下发现有很多圆蕴散布四周
有些还有孔洞
送纵切片分析
由上而下三->底层方向来看
分两类
有孔洞
第三层二氧化矽有像火山口的孔洞
第二层氮化矽由火山口延伸左右被掏空
第一层二氧化矽看起来没影响
无孔洞
第三层二氧化矽膜厚变厚，有挤压现象，把洞孔塞住并且也向第二层氮化矽延伸
第二层氮化矽一样有延伸左右被掏空的现象
第一层二氧化矽看起来也变厚向第二层挤压
一般来说氮化矽应该比二氧化矽难以蚀刻
是什麽化学反应可能导致此现象?
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc), 来自: 59.120.191.150 (台湾)
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1F：→ lrm549: 你这没化学材料参与 怎麽会有化学反应? 59.120.191.150 07/09 13:47
2F：→ lrm549: 我反而觉得是材料应力 及镀膜的均匀性 59.120.191.150 07/09 13:48
3F：→ Focus788: 1大谢谢回覆 我会参考您的建议 59.120.191.150 07/09 16:32
4F：→ Focus788: 只是怕说是不是机器有残留化学剂 59.120.191.150 07/09 16:33
5F：推 lrm549: 化剂这个只有你自己知道 没办法排除 180.177.3.135 07/09 19:08
6F：→ lrm549: 连研究都不用做了 180.177.3.135 07/09 19:08