作者momotea0326 (摸摸茶)
看板ChemEng
标题[材料] AZO溅镀薄膜问题 紧急求救
时间Sun Feb 16 19:53:40 2014
小弟先附上相关资料
AZO氧化锌铝(2%Al)(德制,可采用DC镀制薄膜)
DC POWER 50~150W
制程压力20mtorr~5mtorr
基板温度为100,200,300,400度
小弟先附上相关资料
AZO氧化锌铝(2%Al)(德制,可采用DC镀制薄膜)
三寸靶
DC POWER 50~150W
制程压力20mtorr~5mtorr
基板温度为100,200,300,400度
利用纯氩气进行压力调整
三寸靶
DC POWER 50~150W
制程压力20mtorr~5mtorr
基板温度为100,200,300,400度
利用纯氩气进行压力调整
制程时间为40min
有使用sem及a-step去确认膜厚至少300nm以上
===========================================
但无论怎麽调整参数得到的阻值都是k ohm级别(采用四点探针)
甚至热退火过(200 400度都试过)
阻值仍然降不下去!
而且电阻率根本量测不到(霍尔)
已经换过两次靶材了,确认并不是材料问题
至於为何不采用RF呢...有试过 没一块有阻值的 也就是变成绝缘体了!
现在小弟唯一能想到的症结点只剩下
1.基版为普通素玻璃(知识不足不知是否有差异)
2.机台问题(但找不出原因)
恳求各位专业人士们提供其他可能导致此结果的原因T_T
已经快被干掉了QAQ!
非常感谢><"
参考其他人的文献至少能做出100 Ohm以内的薄膜..
实在不懂为何如此凄惨
--
※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 120.117.76.209
1F：→ elfishdevil:1.背景真空度? 2.溅镀压力可以更低点 125.231.216.38 03/15 22:29
2F：→ elfishdevil:(1mtorr) 3.温度100~200就差不多了 125.231.216.38 03/15 22:30
3F：→ elfishdevil:4.先镀厚一点(500nm以上) 125.231.216.38 03/15 22:31
4F：→ elfishdevil:一般来说我觉得1机会最高，一点点氧就 125.231.216.38 03/15 22:32
5F：→ elfishdevil:差很多 125.231.216.38 03/15 22:32
6F：推 popopin:AZO..先照着文献的方式做看看吧 36.235.162.162 03/29 23:37