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※ 引述《q003344 (不要问你会怕)》之铭言: : 最近有个问题,气体感测器的MFC似乎只能控制气体流量,不能控制气体浓度 : 但是看很多PAPER都直接把气体钢瓶直接接到MFC,实验结果出来他们都能知道 : 通入多少ppm浓度的气体,我还是一直不懂,希望有人可以解惑,我有查到一种东西 : 叫做气体产生器,不知道有没有关联,不知道有没有乡民实验室有气体感测器量测 : 装置,可以带我去看一下整个结构,小弟奉上50岚任选一杯,只要在台南高雄屏东 : 我都愿意去跑,可以的话站内信,小弟感激不尽! 不知道解决疑问了吗!? 文中提到"很多paper都直接把气体钢瓶直接接到MFC " 然後就可以控制器体浓度 应该是这些气体钢瓶内已经是校正气体,也就是已知浓度的气体 再搭配1根balance气体与2个MFC,就可以配出实验所需气体 Ex: 向气体制造厂商订根含10% CO2的气体钢瓶(以N2为背景气体) 再拿根N2的气体钢瓶、2个MFC 100 sccm (10% CO2) + 100 sccm (N2) = 200 sccm (5% CO2) 而气体产生器,如果需要更多资讯可以上网找一下 一般是用在产生低浓度的气体(例如甲醛、丙酮等挥发性有机物...) 机器内会有一挥发室,内有以吸附实验所需之气体的高分子等 在固定流速以及精细的温度控制下,吸附材上的物质会定量挥发 因而可以得到固定浓度的气体 另一种方式是直接将定量液体打入高温挥发室 再以carrier gas带出 --



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