作者littleau (littleau)
看板ChemEng
标题Fw: [问题] 吃photopolymer的蚀刻剂
时间Sun Nov 3 10:30:56 2013
※ [本文转录自 NEMS 看板 #1ITR9Mtk ]
作者: littleau (littleau) 看板: NEMS
标题: [问题] 吃photopolymer的蚀刻剂
时间: Sun Nov 3 10:17:55 2013
请问一下哪种蚀刻可以吃掉感光树脂
我的结构如下:
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mask
photopolymer(感光树脂)
PET or 矽晶圆
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想对感光树脂作蚀刻
但找了很多论文都找不到蚀刻剂如何备制
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◆ From: 124.218.10.134
1F：推 s75287:蚀刻剂? RIE硬吃? 11/03 10:20
2F：→ littleau:用湿式的方是吃掉感光树脂，想看感光树脂蚀刻後的ＳＥＭ 11/03 10:26
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※ 转录者: littleau (124.218.10.134), 时间: 11/03/2013 10:30:56