作者grayalien01 (怕冷企鹅)
看板ChemEng
标题[材料] 关於XPS的峰值校正问题!!
时间Sun May 5 23:57:02 2013
如题
最近尝试要把送样的XPS试片数据fitting峰值
(样品为氮化锆、氮氧化锆、氧化锆等薄膜)
我去查了一下，好像fitting之前要做校正
我的试片有先做Ar预溅击约5分钟，所以应该是用Ar峰值做校正(242 eV)
比方说试片(一)
我去查了一下数据，Ar的高解析能谱图，XPS管理员帮我简易估了一下大概是242.612 eV
(所以我全部的数据的能峰值照理说都要减掉0.612 eV)
可是当做完校正後(扣完0.612後)，我发现试片(一)的图要fitting时反而变得很诡异
所fitting出来的能峰值都跟文献差的更远，不校正好像还比较接近文献值= =
(如果不要校正fitting出来的峰值位置还比较接近我搜寻的文献)
我尝试过把Ar本身的能谱图拿出来fitting，想说管理员粗估可能会不准
结果一fitting出来是243.25，偏了1.25 eV更多= =|||
(Ar我只放一根peak去fitting，虽然是用Ar溅击，但其实Ar的高解析能谱图强度也不高)
(Ar的高解析能谱的图很粗糙(rough)，可以看到很多锯齿)
所以...到底是...
(1)现在我是不是乾脆都不要校正直接fitting好像还比较好...= =
(2)改用碳(C 284.6 eV)去校正，可是都预溅击过了用C校正会准吗??
(3)我校正方式错了
(4)文献一堆人根本也忘了校正就fitting了??
恳求各位高手帮忙了~QQ
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◆ From: 140.120.135.244
1F：推 zarya120:应该是用C来校正 122.146.81.207 05/06 05:38
2F：→ grayalien01:Z大那我应该用预溅击前的C校正罗??140.120.135.244 05/06 10:00
3F：→ grayalien01:因为溅击後C的高解能谱图强度变得比Ar140.120.135.244 05/06 10:00
4F：→ grayalien01:的更弱140.120.135.244 05/06 10:01
5F：推 zarya120:你没有打碳谱吗？ 27.51.1.7 05/06 16:25
6F：→ zarya120:不是根据强弱来判断用哪个做校正的 27.51.1.7 05/06 16:25
我在用Ar做预溅击前皆有收集Ar跟C的高解析能谱
预溅击前的话，C的能谱比Ar清楚很多(Ar谱几乎是条锯齿水平线)
溅击後反过来，Ar谱比C谱清楚(但也很多锯齿)，然後C谱几乎是条锯齿水平线
所以我是想说溅击後Ar的能谱较明显所以选用Ar
(不过校正後觉得不要校正所fitting的峰值位置跟文献反而比较像= =)
我是还没有尝试过用C谱去校正，因为试片溅击後C谱的讯号很弱不知道还能不能fitting
文献上好像也是倾向如果有用Ar溅击清掉表面污染，校正就是用Ar谱
我如果校正的话，以Zr-N键结为例，文献值约是178.8 eV
我去fitting整个峰值会偏移到176 eV左右(Zr-3d)
去计算含量推测，我目前推测可能是Zr的含量过高让Zr-N峰值往低能量偏移
但应该不会偏到近2 eV那麽多吧= =???
实在好困扰~"~ 感谢Z大热心
※ 编辑: grayalien01 来自: 140.120.135.244 (05/06 19:04)