作者chenyppl (where I'm headed)
看板ChemEng
标题Re: [制程] 请问关於共蒸镀(共掺杂)
时间Fri Feb 13 00:24:58 2009
首先你要知道A,B蒸气压vs T 的曲线
这样你才好判断在共蒸镀时的镀膜比例
理论上A,B的档板应该是要同时开启 不然怎麽称为共蒸镀
常见的材料 你可以查查文献
应该会有总压固定 不同温度与流量的镀膜速率参数
如果是少见或是查不到数据的话
科学一点的方法就是
先固定A材料的蒸镀速率
改变B的镀膜速率
然後去做SEM 可以得到正确膜厚 可推之总镀膜速率
去做ESCA(XPS) 可以得到元素比例与键结关系
你就会知道材料的A,B百分比了
※ 引述《jimmys1home (jimmy)》之铭言：
: 各位先进：
: 想请教一下关於有机材料在共掺杂时，该如何了解其掺杂的比例呢?
: 我是用石英震荡片侦测膜厚的，例如我要把A跟B共掺杂比例为5:1，镀20nm好了，
: 那我等两个材料的蒸镀温度到了之後同时开档板吗?
: 我不晓得该如何观察膜厚计所显示的厚度与我的掺杂比例关系。
: 我猜想是需要改变蒸镀速率吗?让我的A材料镀快一 点，B材料镀慢一点，
: 等膜厚到了关档板，只是不晓得比例是?????
: 请各位有经验的人们交交我吧，谢谢大家~~~
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