作者jimmys1home (jimmy)
看板ChemEng
标题[制程] 请问关於共蒸镀(共掺杂)
时间Thu Feb 12 18:23:57 2009
各位先进：
想请教一下关於有机材料在共掺杂时，该如何了解其掺杂的比例呢?
我是用石英震荡片侦测膜厚的，例如我要把A跟B共掺杂比例为5:1，镀20nm好了，
那我等两个材料的蒸镀温度到了之後同时开档板吗?
我不晓得该如何观察膜厚计所显示的厚度与我的掺杂比例关系。
我猜想是需要改变蒸镀速率吗?让我的A材料镀快一 点，B材料镀慢一点，
等膜厚到了关档板，只是不晓得比例是?????
请各位有经验的人们交交我吧，谢谢大家~~~
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