作者iin2 (好心情)
看板ChemEng
标题[材料] 请教板上各位一个问题
时间Fri Dec 26 09:30:23 2008
各位板上的大家好
想请教大家一个问题
如果有一道制程 需要一片板子大约1400mm x 1100mm x 5mm
板子上需要承载玻璃基板 到一个炉子里做薄膜的动作
在炉子理温度是600度 而且板子是从室温直接进到600度
然後加热30分钟 然後直接又进入室温
之前有用Ceramic 但会裂
可以给我建议用甚麽材料比较好吗??
谢谢大家
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◆ From: 220.133.6.27
1F:推 chenyppl:不怕污染与氧气的话 可用石墨,怕污染可用石英晶舟 01/04 01:07