※ 引述《cellowu (cellowu)》之铭言： : ※ 引述《PDADDY (All Eyez On Me)》之铭言： : : 这个部份我觉得怪怪的 : : 所谓一般wafer的氧化层是指native oxide(1) : : 还是指PECVD覆盖上去的氧化层(2) : : 还是通氧气在高温之下 silicon wafer表面形成的氧化层呢?(3) : : 因为不论是市售的wafer或是实验室自己生长切片後的wafer : : 在1或是3的状况之下 都是呈现亲水性 : : 经过HF清洗之後呈现疏水性 : : 但是在经过化学抛光之後 : : 1和3都是呈现疏水性 : : 也就是说经过抛光手续之後 : : 不论是natice oxide或是通氧生成的oxide : : 都是呈现疏水性质的 : (1)放在大气中氧化的wafer : (2)PECVD 用TEOS 长的oxide : (3)市售的SiO2 : (2,3)都是水蓝色的 : 这个在未吃过HF 前碰到水时都是疏水性,只是他的水珠稍为大颗一点 : 但一吃过HF会先马上变亲水性,再变疏水性 如果指的氧化层厚度都是100nm左右的话 2跟3应该都是未抛光的片子 不过2我没试过未抛光座氧化层的亲疏水性测试 但是1跟3我很确定浸泡HF之前是完全的亲水性 因为整片wafer都覆盖满水 而不是水珠 至於化学抛光过後 3我有做过浸泡HF观察变化 不过都是完全疏水性 刚刚很无聊跑去翻以前的片子做了一下测试 测试片是市售sc 4~8" 还有自己生长的mc 2~3" 都是p-type light doped 可不可以请C版友说明一下 这是您的经验或是有文献提到吗 我想这或许是这个版最重要的地方 大家可以提供自己的经验 供大家在实验或是遇到问题的时候 能有一些参考的部分 -- "It's not about east or west, it's about niggaz and bitches, power and money, riderz and punks!" 这不关於东岸或是西岸,而是关於兄弟和女人,权力和金钱,领导者和卒仔....... by 2pac --

※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc) ◆ From: 140.112.61.166 ※ 编辑: PDADDY 来自: 140.112.61.166 (11/06 22:56)