※ 引述《PDADDY (All Eyez On Me)》之铭言： : ※ 引述《NBC427 (煞科)》之铭言： : : 请问熟知化学的先进 : : 矽片(完全未经制程 是来料且被抛光的矽) : : 跟氢氟酸溶液不会起反应 : HF和silicon本来就不会反应 : HF主要是和silicon dioxide反应 : : 在物质安全资料表上 氢氟酸应该比重是小於矽才对 : : (HF:1.4, Si:2.32 g/cm^3) : : 为何把矽丢入氢氟酸内 矽反而会浮上来呢 : : 这是在学校做过的实验 但不了解为何会这样 : 如果是一般市售的silicon wafer(厚度大约200~300micro) : 丢进HF溶液理 的确有机会飘浮在水面 : 不过是因为表面张力的关系 : 你去推一下wafer 改变他的平衡 就会沉下去了 : 如果是你丢进去 下沉再浮起来 就是有反应了 : 不过不是silicon 和HF的反应 : 而是silicon表面在空气中自然形成的silicon dioxide和HF反应 : wafer背面和正面都会有小汽泡 因此wafer就会浮起来了 : 一般人可能会觉得抛光後应该就没有氧化层了 : 的确是这样没错 不过放在空气中还是会继续生成氧化层 : 判断silicon wafer表面有没有氧化层的方式 : 一般是用亲疏水性来判断 : 不过如果表面抛光品质够好 就算有50~100nm厚度的氧化层 ^^^^^^^^^^^^^^^^^^^^^^^^ 一般的的wafer 之氧化层会呈疏水性,要先吃过HF他会先变亲水性(这时还是氧化层) 最後再变回疏水性(无氧化层) : 依然是呈现疏水性的 : 这和一般常理相违背 : 我们推测应该是表面经过抛光变得过於平整 : 水分子没办法附着在上面的关系 : 有点类似荷叶上的水珠的感觉 -- --

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