作者PDADDY (All Eyez On Me)
看板ChemEng
标题Re: [请问]氢氟酸与矽
时间Mon Nov 3 22:52:40 2008
※ 引述《NBC427 (煞科)》之铭言:
: 请问熟知化学的先进
: 矽片(完全未经制程 是来料且被抛光的矽)
: 跟氢氟酸溶液不会起反应
HF和silicon本来就不会反应
HF主要是和silicon dioxide反应
: 在物质安全资料表上 氢氟酸应该比重是小於矽才对
: (HF:1.4, Si:2.32 g/cm^3)
: 为何把矽丢入氢氟酸内 矽反而会浮上来呢
: 这是在学校做过的实验 但不了解为何会这样
如果是一般市售的silicon wafer(厚度大约200~300micro)
丢进HF溶液理 的确有机会飘浮在水面
不过是因为表面张力的关系
你去推一下wafer 改变他的平衡 就会沉下去了
如果是你丢进去 下沉再浮起来 就是有反应了
不过不是silicon 和HF的反应
而是silicon表面在空气中自然形成的silicon dioxide和HF反应
wafer背面和正面都会有小汽泡 因此wafer就会浮起来了
一般人可能会觉得抛光後应该就没有氧化层了
的确是这样没错 不过放在空气中还是会继续生成氧化层
判断silicon wafer表面有没有氧化层的方式
一般是用亲疏水性来判断
不过如果表面抛光品质够好 就算有50~100nm厚度的氧化层
依然是呈现疏水性的
这和一般常理相违背
我们推测应该是表面经过抛光变得过於平整
水分子没办法附着在上面的关系
有点类似荷叶上的水珠的感觉
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这不关於东岸或是西岸,而是关於兄弟和女人,权力和金钱,领导者和卒仔.......
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◆ From: 140.112.61.166
1F:推 NBC427:thanks :) 11/03 23:01
2F:推 stech: thanks :) DADDY 11/04 08:24
3F:→ ChrisPaul03:差别在於摆直的进去和摆横的进去 11/05 08:59