作者ChrisPaul03 (三号)
看板ChemEng
标题Re: [制程]铁蚀刻和铜蚀刻
时间Thu Sep 25 08:52:30 2008
※ 引述《julian42 (jjjjjjjjjjjjjjjjjjjj)》之铭言：
: 请问硫酸,盐酸或草酸
: 要怎麽配出蚀刻铁跟蚀刻铜速度差别很大的溶剂
: 开用哪一种酸?
: 多少浓度?
你提的问题相当复杂，
基本上可以用selectivity来评估。
以HCl, H2SO4来说，
几乎对大部分金属没有选择性。
H2C2O4的部份，
可以多一个错合作用，
但是因为酸性不强，
效果有限，
必须搭配其他强酸。
回到你的问题，
铁的标准还原电位较低，
所以比铜易於溶解。
预估会先反应，
但是不代表铜不反应，
因为这只是热力学趋势。
假设Fe氧化成Fe2+,Fe3+
其中的Fe3+会回来和Cu反应，
形成一个自催化效应，
使selectivity降低。
因此，
不论你用了什麽好药，
高选择的需求似乎都很难达到。
--
※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 210.240.237.120