作者jerrychu1211 (感受到 乡民的正义了~~)
看板NEMS
标题[问题] 请推荐可曝出 0.3um 线宽的光阻
时间Sat May 23 02:46:25 2020
各位先进好,
黄光博大精深, 小弟只略懂皮毛
请问6" ASML, Canon, Nikon的i-line机台
若欲曝出0.3um的线宽(both strip & square type)
除了需搭配转速, 转出适当的厚度
可能亦须做FEM(Focus Exposure Matrix)的实验, 找出较适当的曝光条件
而在光阻选用上, 各机台有分别建议的光阻型号吗
谢谢
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1F：推 andyallice: 6 寸 0.3 um 有点太极限 05/24 19:42
2F：→ jerrychu1211: 确实, 6"通常CD极限在0.5~0.6um,overlay在0.1~0.2um 05/25 01:12
3F：→ jerrychu1211: 不过也是要搭配黄光光源, 跟光阻特性, 所以想请教 05/25 01:13
4F：推 darkness0918: ULTRA-123 06/18 21:32
5F：→ jerrychu1211: 感谢推荐,我会再study这只光阻,请问有供应商资讯吗? 06/21 02:36
6F：推 e456541: 您好，我们代理Kemlab的光阻，可供应0.3um线宽的产品，欢 11/02 14:48
7F：→ e456541: 迎私讯讨论！ 11/02 14:48