大家好...我在量測時遇到了一個問題想請教大家... 主要是我量測的DUT阻抗很高...然後示波器就算調輸入阻抗1M... 還是會有很多電流流進示波器...不知道是否有方法可以更進一步提高輸入阻抗 除了選用衰減探棒之外...或者是有什麼方法可以解決這個問題... ---------------------------------------------------------------- 我做的電路比較簡單...比較特別的是我們是自己作元件... 所以量測都是on-wafer的...所以所有的端點都是用下針的方式連接 我是利用兩個TFT連成enhancement load的inverter 然後以function generator在Vin給一個方波...以量測Vout的transient 特性 Vdd和GND都是用Agilent 4155C給予一個穩定的直流偏壓... Vout的部分是直接將那根針的triaxial端轉為BNC接到示波器... 理論上量測出來會是與Vin反向...從inverter sweep特性推斷振幅約4V... 但實際量出來是有反向...但震幅只有1V左右...應該不是因為rising time不夠 因為輸出的方波有飽和到水平線...但振福就是很小...從4155c監控發現 有幾百nA的電流流入示波器...因此我在想這會不會是電阻性附載的效應... 但因為我們直接用探棒去勾針...一來很傷元件...二來是雜訊太大... 所以朝向增加輸入阻抗的方式前進...但試了一陣子還是試不出來... 所以上前請教板大不知道是否有什麼方法...可以避免電流流入示波器 對了我們用的示波器為Lecroy 6050A...非常感謝各位的幫忙~ --

※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 220.136.188.133 ※ 編輯: Zoma 來自: 220.136.188.133 (03/21 09:08)