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補充一下幾點 ※ 引述《moonth66 (一天工作14小時 ! 真操 .)》之銘言: : IMP 分為 Wheel ChamDber與Single Camber因為Wheel Chamber 的報廢批太大一 : 次13Pcs,所以GG後期皆改良為Single。 : 其中High/Medium Current如果是Indium orGermanium 那會常PM後outgassing : 到往生,其實有解決方法,只要把粉狀藥劑與Source Head放在最後裝上,且Source Hea : d/ Liner需昨天就已置於烤箱中,可減少outgassing的時間,再者建置高真空時,前後多 : 做幾次N2 purge,可減少異味也可快速建置真空,其實最怕做到此類型機台,有時候 Exh : aust沒做好,異味外洩有可能全場疏散。 solid source有一種更可怕的東西叫CBH的 Source Head不但跟一般的還不一樣,還兩天就 要換一次真的會搞死人 : 另一項最為頭痛的為Source Head Filament/PFG Short,其中S/H short 有解決 : 方法,就 : 是將 Filament Cathode 與 Liner 間 改良Liner為倒梯形,一方面不會導致Plasma外逸 : ,另一方面可以增加Filament Cathode 與 Liner 間距,減少Short的機會延長PM時間。 : Source Head也常常建置真空後,S/H後端外管漏水,解決方法為建置OFF Line 測 : 漏水。 Varian較舊的機型HCS D2或是現在的Trident EPM在爛的的時候,會glitch到你懷疑人生 : S/H O-ring 對建置高中空也其為重要,最好OFF Line就檢查,當建置粗真空時( : 即Turbo : Pump 打開) 一定要用N2測漏儀器測漏,否則建置不起來高真空,或是導致 Cryo Pump 回 : 溫這可能要到隔天去了。 測漏不是N2啦 是He S/H O-ring其實還好 我絕對不會說很多人換Source Head沒在測漏的 S/H 除非大漏不然一般來說不太會影響IG2 IG3的值 真的需要測漏的是Dose Cup 有漏就真的會影響到Dose量了 : 因為IMP製程適用於半導體與Dram,但是Dram 的IMP Recipe其 Energy與Dose相 : 對單純固定,不像半導體有幾百隻IMP Recipe常常需要切換,導致常常需要PM。 : 其IMP 所學範圍極窄,只是用半導體業,GG 轉職也只能去 Vendor作 trouble : shooting或幫忙原廠更新零件配置的功能,離開GG,人生GG,忠言又逆耳。 : ※ 引述《yai5217 (しゅぽん)》之銘言: : : 人在日本出差 晚上無聊來發發廢文聊一下imp : : 小弟之前在某fab內顧過幾年的imp : : 台灣的imp機台供應商大概有三家 AMAT Axcelis SHI : : 小弟只顧過兩個A社的 : : 所以聊聊這兩家的機台 : : 前面有人提到說 沒三年不敢說懂imp : : 個人還蠻認同的 : : 沒一定經驗我看連想解讀alarm message都蠻困難的 : : 不過說是真空機台內最難的我倒是不太認同 : : 畢竟imp內部沒有光路 隨便一台有光路的機台難度都屌打imp : : 而且就算被PE highlight 說機台run出來的產品有問題要處理 : : 最後也就換換parts tunebeam完以後就完事了 : : 另外IMP個人認為算是蠻危險的機台 : : 不光是平常使用的是毒氣之外 (B P As) : : 還有機會會發爐 有遇過一抽真空機台就shutdown開始冒煙 : : 而且機台parts普通偏重 又需要常常拆卸 : : 危險性跟其他module比起來應該也有前三吧 (? : : 後面聊聊機台 : : AMAT現在主力的機台是trident 900xp : : 這兩種beamline型機台 只要平常parts的品質夠好 : : 顧起來都算輕鬆的 (反而言之parts爛的時候就知道了XD) : : 另外還有一種叫PLAD 顧到這種機台的很屎 : : 不光是機台很屎 聞起來也很屎 : : 不過這機台就真的比較難 應該很少會給新人顧 : : 但是PM的時候就會很想死了 因為真的很臭 : : axcelis的機台就high energy類跟現在最新的purionH : : a社的機台就很難顧 : : 因為AMAT的機台程式整合得很好 照著SOP通常都不會有甚麼問題 : : a社的就很多毛 傳片也是特別的disk式 : : 是以前八吋的霸者 現在就被AMAT打趴 : : 至於以前上班的生活 : : 大概就是PM 顧SPC、FDC 撿螺絲 刷地板 整理環境之類的 : : 值班就是有消不完的alarm跟tune不完的beam還有跟OP吵架 : : tunebeam也很吃個人技術跟經驗 : : 要怎麼tune到小姐都覺得你超屌就是個人技術了 : : 心得大概就是這些 : : 雖然我最後還是離職了 : : 不過普遍聽到的imp的離職率其實還蠻低的 (連日本的fab好像也是) : : 或許imp真的就是這麼好顧也說不定 -- Q 56 9 2/17 - □ (已被分類帽刪除) <鄉民>超貼 S 62 1 2/25 - □ (已被分類帽刪除) <鄉民>政治問卦 W ◣_◢ 66 3 2/27 - □ (已被分類帽刪除) <鄉民>專板 E 82 X2 3/02 - □ (已被分類帽刪除) <鄉民>引戰 E ▆▃ 339 5 3/05 - □ (已被分類帽刪除) <鄉民>無八卦 T = =452 3/07 - □ (已被分類帽刪除) <鄉民>一行文 --
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※ 文章網址: https://webptt.com/m.aspx?n=bbs/Tech_Job/M.1569125083.A.A7C.html ※ 編輯: livefishfish (123.205.189.124 臺灣), 09/22/2019 12:10:58
1F:推 Incentive: 推分享 09/22 14:51
2F:推 benden: 推 09/22 15:22
3F:推 moonth66: 有自信相信自己PM技術,大可不必推氦氣測漏儀,啾啾叫, 09/22 17:18
4F:→ moonth66: 老鳥機乎不測,看到老鳥推來了,表示大事不妙! 09/22 17:18
5F:推 moonth66: 閃遠點,免得基於袍澤之情,耽誤自己下班時間 09/22 17:20
6F:推 ideo: 不怕一萬只怕萬一,半導體最怕這種有自信的該測的不測,在fa 09/22 17:27
7F:→ ideo: b待過的都知道我在說什麼,不要不信邪,夜路走多還是會碰鬼 09/22 17:27
8F:推 moonth66: 的確!頂多被開會(袍澤)狗幹而已,下次換別人害你 09/22 17:31
9F:推 moonth66: 想想被狗幹,一年可是有200萬可領,從畢業做到65歲台積 09/22 17:34
10F:→ moonth66: 電退休,總所得有一億元,也是人生得意組! 09/22 17:34
11F:推 TOUCHLOVER: 說到gas alarm哪家比得上Varian的High Energy.... 09/22 22:45
12F:推 moonth66: ByPass 09/22 22:48
13F:推 tequilaboom: IMP的確比管子還累 09/22 23:37
14F:推 azureroki: 看完這些我決定還是繼續待在後段了 09/23 09:29
15F:推 water5251: 跪求解D2 glitch!!!!!!!! 有前輩能分享經驗嗎! 09/23 13:42
16F:推 TOUCHLOVER: 不停的換 總會換到好的D2 XD 09/23 22:12







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